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工厂无尘车间防火要求

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1)电子工厂无尘车间中,有使用丙酮、异丙醇等易燃化学品的洁净室,这些化学品均属甲类,因此将电子工厂无尘车间设有这些化学品的储存间、分配间列为甲类。

2)电子工厂洁净J房中,尤其在半导体类型无尘车间中常常使用H”S1H4. AsH3、PH3等町燃、有毒气体,它们均属可燃气体、有毒气体,因此将电子工厂无尘车间中设有可燃、有毒气体的储存、分配间列为甲类。

3)半导体器件、集成电路工厂的外延间,由于其生产过程中需使用H2. SiH4等可燃气体,它们的着火下限均低丁10%,因此外延间理应列为甲类,但是近年来,随着科学技术进步,半导体器件和集成电路生产所采用的外延设备的设计、制造技术的不断提高;各种气体供应、控制系统、设备和附件设计、制造技术的不断提高,气体报警设施的安全可靠性的长足进步和提高。据调查表明:半导体器件和集成电路生产所采用的外延设备已配置有氢气泄漏和排放超浓度报警、连锁控制装置以及灭火装置等;半导体器件和集成电路生产用外延间的氢气供应管路设有紧急切断阀,一旦发生事故、火情时,自动切断氢气供应;外延问按建筑特点在可能积聚氢气处设置氯气报警装置和事故排风连锁控制装置等安全技术措施。所以“规菹”制定时,考虑到在具备上述安全技术措施的条件下,宜将半导体器件和集成电路生产等所使用外延问列为丙类。